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AIXTRON機(jī)臺測溫儀EX-C-7FL系BASF生產(chǎn)的高精度藍(lán)寶石光管高溫計(jì)，被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD機(jī)臺底部的測溫系統(tǒng)(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。